TOPCon SE激光摻雜設(shè)備
- 產(chǎn)品簡介
- 利用激光能量推動硼原子在硅片內(nèi)擴(kuò)散,實現(xiàn)選擇性發(fā)射極SE結(jié)構(gòu)。通過在金屬柵線與硅片接觸區(qū)域進(jìn)行重?fù)诫s、在正面其他區(qū)域保持輕摻雜,不僅可以在電極和發(fā)射極之間形成良好的歐姆接觸,還可以減少發(fā)射極表面少子的復(fù)合,從...
- 產(chǎn)品特點
一次摻雜,工藝流程簡單,經(jīng)濟(jì)性好
F-T勻化整形技術(shù),光斑能量分布均勻,表面損傷小
所有與硅片接觸部分均為非金屬材質(zhì),降低污染影響,PL干凈
摻雜曲線可自由優(yōu)化,明顯提高光電轉(zhuǎn)換效率
高產(chǎn)能,高精度,高均勻性,高穩(wěn)定性
選配多種在線檢測功能,保障產(chǎn)品高良率
模塊化設(shè)計,可根據(jù)客戶需求定制,兼容性強(qiáng)
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